国林科技:臭氧设备可使用于半导体、光伏、电子光电等微观制程范畴
来源:bwin集团
发布时间:2025-05-11 14:16:29
国林科技:臭氧设备可使用于半导体、光伏、电子光电等微观制程范畴
金融界4月1日音讯,有投入资金的人在互动渠道向国林科技发问:,贵公司半导体臭氧设备是否可用于新凯莱的CVD和ALD产品中呢?贵公司除北方华创这种半导体大厂外是否还有其他半导体客户呢?
公司答复表明:臭氧在半导体职业的使用场景规模最重要的包括薄膜堆积、湿法清洗、外表处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体现在主经营务产品有:臭氧气体发生器、臭氧气体运送设备、半导体级高浓度臭氧水体系、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等,可使用于半导体、光伏、电子光电等微观制程范畴,现在占公司经营收入比重较小。公司现在已与部分整理洗刷设备厂商、光伏、面板等头部企业建立了协作伙伴关系,产品验证作业正在有序进行。